激光干涉測(cè)量是實(shí)現(xiàn)超精密測(cè)控和微納尺度測(cè)量的有效手段之一。激光干涉測(cè)速儀基于光學(xué)多普勒效應(yīng)，全部采用單模光纖傳輸光信號(hào)，利用光學(xué)干涉混頻技術(shù)獲得物體的連續(xù)速度信息，整個(gè)系統(tǒng)采用全光纖連接，不僅提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性、減小體積，而且由于采用高性能的單模光纖，使系統(tǒng)的響應(yīng)時(shí)間不再受限于光纖色散，可實(shí)現(xiàn)50ps量級(jí)時(shí)間分辨率的速度測(cè)量。

　　具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

　　激光干涉測(cè)速儀有很多應(yīng)用，但本質(zhì)都是測(cè)量中學(xué)課本講的“位移”，諸多應(yīng)用都是“位移”的延伸和轉(zhuǎn)化。有兩個(gè)主流類型：?jiǎn)晤l激光和雙頻激光。

　　單頻能做的雙頻激光干涉儀都能做，但雙頻能做的單頻不見(jiàn)得能做。由于歷史、技術(shù)和商業(yè)原因，兩種測(cè)速儀都有著廣泛應(yīng)用，但在光刻機(jī)上，雙頻激光市場(chǎng)更大。

　　單頻不需要對(duì)市場(chǎng)上的氦氖激光器進(jìn)行改造，直接可用。但雙頻激光用的激光器需要附加技術(shù)使其產(chǎn)生雙頻（兩個(gè)頻率）。雙頻激光測(cè)量位移的速度不及單頻激光，自從發(fā)明了雙折射-塞曼雙頻激光器，雙頻激光的測(cè)量速度也達(dá)到每秒幾米，與單頻激光器看齊了。